පිරිසිදු කාමරයක වායු ප්‍රවාහ සංවිධානයේ තාපන සාධක මොනවාද?

චිප් නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ චිප් අස්වැන්න චිප් මත තැන්පත් කර ඇති වායු අංශු ප්‍රමාණය හා සංඛ්‍යාවට සමීපව සම්බන්ධ වේ. හොඳ වායු ප්‍රවාහ සංවිධානයක් මඟින් දූවිලි ප්‍රභවයන්ගෙන් ජනනය වන අංශු පිරිසිදු කාමරයෙන් ඉවතට ගෙන ගොස් පිරිසිදු කාමරයේ පිරිසිදුකම සහතික කළ හැකිය. එනම්, පිරිසිදු කාමරයේ වායු ප්‍රවාහ සංවිධානය චිප් නිෂ්පාදනයේ අස්වැන්න සඳහා වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. පිරිසිදු කාමර වායු ප්‍රවාහ සංවිධානයක් සැලසුම් කිරීමේදී සාක්ෂාත් කරගත යුතු ඉලක්ක වන්නේ: හානිකර අංශු රඳවා තබා ගැනීම වළක්වා ගැනීම සඳහා ප්‍රවාහ ක්ෂේත්‍රයේ සුළි ධාරා අඩු කිරීම හෝ ඉවත් කිරීම; හරස් දූෂණය වැළැක්වීම සඳහා සුදුසු ධනාත්මක පීඩන අනුක්‍රමයක් පවත්වා ගැනීම.

පිරිසිදු කාමර මූලධර්මයට අනුව, අංශු මත ක්‍රියා කරන බලවේග අතර ස්කන්ධ බලය, අණුක බලය, අංශු අතර ආකර්ෂණය, වායු ප්‍රවාහ බලය යනාදිය ඇතුළත් වේ.

වායු ප්‍රවාහ බලය: සැපයුම සහ ආපසු වායු ප්‍රවාහය, තාප සංවහන වායු ප්‍රවාහය, කෘතිම කැළඹීම සහ අංශු රැගෙන යාම සඳහා නිශ්චිත ප්‍රවාහ අනුපාතයක් සහිත අනෙකුත් වායු ප්‍රවාහයන් නිසා ඇතිවන වායු ප්‍රවාහ බලය අදහස් කරයි. පිරිසිදු කාමර පාරිසරික තාක්ෂණ පාලනය සඳහා, වායු ප්‍රවාහ බලය වඩාත් වැදගත් සාධකය වේ.

අත්හදා බැලීම්වලින් පෙන්වා දී ඇත්තේ වායු ප්‍රවාහ චලනයේදී අංශු වායු ප්‍රවාහය හරියටම එකම වේගයකින් අනුගමනය කරන බවයි. වාතයේ අංශුවල තත්ත්වය තීරණය වන්නේ වායු ප්‍රවාහ ව්‍යාප්තිය මගිනි. ගෘහස්ථ අංශු මත වායු ප්‍රවාහයේ ප්‍රධාන බලපෑම් අතරට: වායු සැපයුම් වායු ප්‍රවාහය (ප්‍රාථමික වායු ප්‍රවාහය සහ ද්විතියික වායු ප්‍රවාහය ඇතුළුව), මිනිසුන් ඇවිදීම නිසා ඇතිවන වායු ප්‍රවාහය සහ තාප සංවහන වායු ප්‍රවාහය සහ ක්‍රියාවලි මෙහෙයුම් සහ කාර්මික උපකරණ නිසා ඇතිවන අංශු මත වායු ප්‍රවාහයේ බලපෑම. පිරිසිදු කාමරවල විවිධ වායු සැපයුම් ක්‍රම, වේග අතුරුමුහුණත්, ක්‍රියාකරුවන් සහ කාර්මික උපකරණ, ප්‍රේරිත සංසිද්ධි යනාදිය පිරිසිදුකමේ මට්ටමට බලපාන සාධක වේ.

1. වායු සැපයුම් ක්‍රමයේ බලපෑම

(1) වායු සැපයුම් වේගය

ඒකාකාර වායු ප්‍රවාහයක් සහතික කිරීම සඳහා, ඒක දිශානුගත ප්‍රවාහ පිරිසිදු කාමරයේ වායු සැපයුම් වේගය ඒකාකාරී විය යුතුය; වායු සැපයුම් මතුපිට මළ කලාපය කුඩා විය යුතුය; සහ හෙපා පෙරහන තුළ පීඩන පහත වැටීම ද ඒකාකාරී විය යුතුය.

වායු සැපයුම් වේගය ඒකාකාරී ය: එනම්, වායු ප්‍රවාහයේ අසමානතාවය ± 20% ක් තුළ පාලනය වේ.

වායු සැපයුම් පෘෂ්ඨයේ අඩු මළ ඉඩක් ඇත: හෙපා රාමුවේ තල ප්‍රදේශය අඩු කළ යුතු පමණක් නොව, වඩාත් වැදගත් ලෙස, අතිරික්ත රාමුව සරල කිරීම සඳහා මොඩියුලර් FFU භාවිතා කළ යුතුය.

වායු ප්‍රවාහය සිරස් සහ ඒක දිශානුගත බව සහතික කිරීම සඳහා, පෙරහනෙහි පීඩන පහත වැටීම තෝරා ගැනීම ද ඉතා වැදගත් වන අතර, පෙරහන තුළ පීඩන අලාභය පක්ෂග්‍රාහී විය නොහැකි බව අවශ්‍ය වේ.

(2) FFU පද්ධතිය සහ අක්ෂීය ප්‍රවාහ විදුලි පංකා පද්ධතිය අතර සංසන්දනය

FFU යනු විදුලි පංකාවක් සහ හෙපා පෙරහනක් සහිත වායු සැපයුම් ඒකකයකි. FFU හි කේන්ද්‍රාපසාරී විදුලි පංකාව මගින් වාතය උරා ගන්නා අතර ගතික පීඩනය වායු නාලයේ ස්ථිතික පීඩනය බවට පරිවර්තනය කරයි. එය හෙපා පෙරහන මගින් ඒකාකාරව පිඹිනු ලැබේ. සිවිලිම මත වායු සැපයුම් පීඩනය සෘණ පීඩනයකි. මේ ආකාරයෙන් පෙරහන ප්‍රතිස්ථාපනය කිරීමේදී කිසිදු දූවිලි පිරිසිදු කාමරයට කාන්දු නොවේ. අත්හදා බැලීම්වලින් පෙන්වා දී ඇත්තේ වායු පිටවීමේ ඒකාකාරිත්වය, වායු ප්‍රවාහ සමාන්තරකරණය සහ වාතාශ්‍රය කාර්යක්ෂමතා දර්ශකය අනුව FFU පද්ධතිය අක්ෂීය ප්‍රවාහ විදුලි පංකා පද්ධතියට වඩා උසස් බවයි. මෙයට හේතුව FFU පද්ධතියේ වායු ප්‍රවාහ සමාන්තරකරණය වඩා හොඳ වීමයි. FFU පද්ධතිය භාවිතා කිරීමෙන් පිරිසිදු කාමරයක වායු ප්‍රවාහ සංවිධානය වැඩිදියුණු කළ හැකිය.

(3) FFU හි ව්‍යුහයේ බලපෑම

FFU ප්‍රධාන වශයෙන් විදුලි පංකා, පෙරහන්, වායු ප්‍රවාහ මාර්ගෝපදේශ සහ අනෙකුත් සංරචක වලින් සමන්විත වේ. සැලසුමට අවශ්‍ය පිරිසිදුකම සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා පිරිසිදු කාමරය සඳහා හෙපා පෙරහන වැදගත්ම සහතිකයයි. පෙරහනෙහි ද්‍රව්‍ය ප්‍රවාහ ක්ෂේත්‍රයේ ඒකාකාරිත්වයට ද බලපානු ඇත. රළු පෙරහන් ද්‍රව්‍යයක් හෝ ප්‍රවාහ තහඩුවක් පෙරහන් පිටවන ස්ථානයට එකතු කළ විට, පිටවන ප්‍රවාහ ක්ෂේත්‍රය පහසුවෙන් ඒකාකාර කළ හැකිය.

2. විවිධ පිරිසිදුකම සමඟ වේග අතුරුමුහුණතේ බලපෑම

එකම පිරිසිදු කාමරය තුළ, වැඩ කරන ප්‍රදේශය සහ සිරස් ඒක දිශානුගත ප්‍රවාහයක් සහිත වැඩ නොකරන ප්‍රදේශය අතර, හෙපා පෙට්ටියේ වායු වේගයේ වෙනස හේතුවෙන්, අතුරු මුහුණතේ මිශ්‍ර සුළි බලපෑමක් ඇති වන අතර, මෙම අතුරු මුහුණත කැළඹිලි සහිත වායු ප්‍රවාහ කලාපයක් බවට පත්වේ. වායු කැළඹිලි තීව්‍රතාවය විශේෂයෙන් ශක්තිමත් වන අතර, අංශු උපකරණ යන්ත්‍රයේ මතුපිටට සම්ප්‍රේෂණය වී උපකරණ සහ වේෆර් දූෂණය කළ හැකිය.

3. කාර්ය මණ්ඩලය සහ උපකරණ කෙරෙහි බලපෑම

පිරිසිදු කාමරය හිස් වූ විට, කාමරයේ වායු ප්‍රවාහ ලක්ෂණ සාමාන්‍යයෙන් සැලසුම් අවශ්‍යතා සපුරාලයි. උපකරණ පිරිසිදු කාමරයට ඇතුළු වූ පසු, මිනිසුන් චලනය වන අතර නිෂ්පාදන ප්‍රවාහනය කරන විට, උපකරණ යන්ත්‍රයෙන් නෙරා ඇති තියුණු ලක්ෂ්‍ය වැනි වායු ප්‍රවාහ සංවිධානයට අනිවාර්යයෙන්ම බාධා ඇති වේ. කොන් හෝ දාරවල, වායුව කැළඹිලි සහිත ප්‍රවාහ ප්‍රදේශයක් සෑදීමට හරවා යවනු ලබන අතර, එම ප්‍රදේශයේ ඇති තරලය එන වායුව මගින් පහසුවෙන් රැගෙන නොයන අතර එමඟින් දූෂණය ඇති වේ.

ඒ සමඟම, අඛණ්ඩ ක්‍රියාකාරිත්වය හේතුවෙන් යාන්ත්‍රික උපකරණවල මතුපිට රත් වන අතර, උෂ්ණත්ව අනුක්‍රමය යන්ත්‍රය අසල නැවත ප්‍රවාහ ප්‍රදේශයක් ඇති කරන අතර එමඟින් නැවත ප්‍රවාහ ප්‍රදේශයේ අංශු සමුච්චය වීම වැඩි වේ. ඒ සමඟම, ඉහළ උෂ්ණත්වය පහසුවෙන් අංශු ගැලවී යාමට හේතු වේ. ද්විත්ව ආචරණය සමස්ත සිරස් ස්ථරය තීව්‍ර කරයි. ප්‍රවාහ පිරිසිදුකම පාලනය කිරීමේ දුෂ්කරතාවය. පිරිසිදු කාමරයේ ක්‍රියාකරුවන්ගෙන් ලැබෙන දූවිලි මෙම නැවත ප්‍රවාහ ප්‍රදේශවල වේෆර් වලට පහසුවෙන් ඇලී සිටිය හැකිය.

4. ආපසු වායු තට්ටුවේ බලපෑම

බිම හරහා ගමන් කරන ආපසු වාතයේ ප්‍රතිරෝධය වෙනස් වූ විට, පීඩන වෙනස ඇති වන අතර එමඟින් වාතය කුඩා ප්‍රතිරෝධයක දිශාවට ගලා යන අතර ඒකාකාර වායු ප්‍රවාහයක් නොලැබේ. වර්තමාන ජනප්‍රිය සැලසුම් ක්‍රමය වන්නේ උස් තට්ටුවක් භාවිතා කිරීමයි. උස් තට්ටුවේ විවෘත කිරීමේ අනුපාතය 10% ක් වන විට, වායු ප්‍රවාහ ප්‍රවේගය ගෘහස්ථ වැඩ කරන උසින් ඒකාකාරව බෙදා හැරිය හැකිය. ඊට අමතරව, බිම දූෂණයේ ප්‍රභවය අඩු කිරීම සඳහා පිරිසිදු කිරීමේ කටයුතු කෙරෙහි දැඩි අවධානයක් යොමු කළ යුතුය.

5. ප්‍රේරක සංසිද්ධිය

ඊනියා ප්‍රේරණ සංසිද්ධිය යන්නෙන් අදහස් කරන්නේ ඒකාකාර ප්‍රවාහයට ප්‍රතිවිරුද්ධ දිශාවට වායු ප්‍රවාහය ජනනය කිරීමේ සංසිද්ධියයි, එමඟින් කාමරයේ ජනනය වන දූවිලි හෝ යාබද දූෂිත ප්‍රදේශවල දූවිලි ඉහළ සුළං පැත්තට ප්‍රේරණය කරයි, එමඟින් දූවිලි වේෆරය දූෂණය කරයි. ප්‍රේරිත සංසිද්ධිවලට පහත සඳහන් දෑ ඇතුළත් වේ:

(1) අන්ධ තහඩුව

බිත්තියේ ඇති සන්ධි හේතුවෙන් සිරස් ඒකපාර්ශ්වික ප්‍රවාහයක් සහිත පිරිසිදු කාමරයක, සාමාන්‍යයෙන් කැළඹිලි සහිත ප්‍රවාහයක් සහ දේශීය ආපසු ප්‍රවාහයක් ඇති කරන විශාල අන්ධ පැනල් ඇත.

(2) ලාම්පු

පිරිසිදු කාමරයක ආලෝකකරණ සවිකිරීම් වැඩි බලපෑමක් ඇති කරයි. ප්‍රතිදීප්ත ලාම්පුවේ තාපය වායු ප්‍රවාහය ඉහළ යාමට හේතු වන බැවින්, ප්‍රතිදීප්ත ලාම්පුව කැළඹිලි සහිත ප්‍රදේශයක් බවට පත් නොවේ. සාමාන්‍යයෙන්, පිරිසිදු කාමරයක ලාම්පු කඳුළු බිංදු හැඩයකින් නිර්මාණය කර ඇත්තේ වායු ප්‍රවාහ සංවිධානයට ලාම්පු වල බලපෑම අඩු කිරීම සඳහා ය.

(3) බිත්ති අතර හිඩැස්

විවිධ පිරිසිදුතා අවශ්‍යතා සහිත කොටස් බිත්ති හෝ සිවිලිම් අතර හිඩැස් ඇති විට, අඩු පිරිසිදුතා අවශ්‍යතා ඇති ප්‍රදේශවලින් දූවිලි ඉහළ පිරිසිදුතා අවශ්‍යතා සහිත යාබද ප්‍රදේශවලට මාරු කළ හැකිය.

(4) යාන්ත්‍රික උපකරණ සහ බිම හෝ බිත්තිය අතර දුර

යාන්ත්‍රික උපකරණ සහ බිම හෝ බිත්තිය අතර පරතරය කුඩා නම්, ප්‍රතිබද්ධ කැළඹීම් ඇති වේ. එමනිසා, උපකරණ සහ බිත්තිය අතර පරතරයක් තබා බිම සමඟ සෘජු සම්බන්ධතා වළක්වා ගැනීම සඳහා යන්ත්‍ර වේදිකාව ඔසවන්න.