පිරිසිදු කාමරය තුළ වායු ප්රවාහ සංවිධානයේ බලපාන සාධක මොනවාද?

චිප් නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ චිප් අස්වැන්න චිපයේ තැන්පත් වී ඇති වායු අංශු ප්‍රමාණය හා සංඛ්‍යාවට සමීපව සම්බන්ධ වේ. හොඳ වායු ප්‍රවාහ සංවිධානයකට දූවිලි ප්‍රභවයන්ගෙන් ජනනය වන අංශු පිරිසිදු කාමරයෙන් ඉවතට ගෙන පිරිසිදු කාමරයේ පිරිසිදුකම සහතික කළ හැකිය. එනම්, පිරිසිදු කාමරයේ වායු ප්රවාහ සංවිධානය චිප් නිෂ්පාදනයේ අස්වැන්න සඳහා වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. පිරිසිදු කාමර වායු ප්රවාහ සංවිධානය සැලසුම් කිරීමේදී සාක්ෂාත් කරගත යුතු ඉලක්ක වනුයේ: හානිකර අංශු රඳවා තබා ගැනීම වළක්වා ගැනීම සඳහා ප්රවාහ ක්ෂේත්රයේ සුළි ධාරා අඩු කිරීම හෝ ඉවත් කිරීම; හරස් දූෂණය වැළැක්වීම සඳහා සුදුසු ධනාත්මක පීඩන අනුක්‍රමයක් පවත්වා ගැනීමට.

පිරිසිදු කාමර මූලධර්මයට අනුව, අංශු මත ක්‍රියා කරන බලවේගවලට ස්කන්ධ බලය, අණුක බලය, අංශු අතර ආකර්ෂණය, වායු ප්‍රවාහ බලය යනාදිය ඇතුළත් වේ.

වායු ප්‍රවාහ බලය: සැපයුම් සහ ප්‍රතිලාභ වායු ප්‍රවාහය, තාප සංවහන වායු ප්‍රවාහය, කෘතිම කැළඹීම් සහ අංශු රැගෙන යාම සඳහා නිශ්චිත ප්‍රවාහ අනුපාතයක් සහිත වෙනත් වායු ප්‍රවාහයන් නිසා ඇතිවන වායු ප්‍රවාහයේ බලය සඳහන් වේ. පිරිසිදු කාමර පාරිසරික තාක්ෂණය පාලනය සඳහා, වායු ප්රවාහ බලය වඩාත් වැදගත් සාධකය වේ.

අත්හදා බැලීම්වලින් පෙන්නුම් කර ඇත්තේ වායු ප්‍රවාහ චලිතයේදී අංශු හරියටම එකම වේගයකින් වාත ප්‍රවාහය අනුගමනය කරන බවයි. වාතයේ අංශු වල තත්වය තීරණය වන්නේ වායු ප්රවාහ ව්යාප්තිය මගිනි. ගෘහස්ථ අංශු මත වායු ප්රවාහයේ ප්රධාන බලපෑම් ඇතුළත් වේ: වායු සැපයුම් වායු ප්රවාහය (ප්රාථමික වායු ප්රවාහය සහ ද්විතියික වායු ප්රවාහය ඇතුළුව), මිනිසුන් ඇවිදීම නිසා ඇතිවන වායු ප්රවාහ සහ තාප සංවහන වායු ප්රවාහය සහ ක්රියාවලි මෙහෙයුම් සහ කාර්මික උපකරණ නිසා ඇතිවන අංශු මත වායු ප්රවාහයේ බලපෑම. පිරිසිදු කාමරවල ඇති විවිධ වායු සැපයුම් ක්‍රම, වේග අතුරුමුහුණත්, ක්‍රියාකරුවන් සහ කාර්මික උපකරණ, ප්‍රේරිත සංසිද්ධි යනාදිය පිරිසිදුකම මට්ටමට බලපාන සාධක වේ.

1. වායු සැපයුම් ක්රමයේ බලපෑම

(1) වායු සැපයුම් වේගය

ඒකාකාර වායු ප්රවාහය සහතික කිරීම සඳහා, ඒකපාර්ශ්වික ප්රවාහ පිරිසිදු කාමරයේ වායු සැපයුම් වේගය ඒකාකාර විය යුතුය; වායු සැපයුම් මතුපිට ඇති මළ කලාපය කුඩා විය යුතුය; සහ hepa පෙරහන තුළ පීඩනය පහත වැටීම ද ඒකාකාරී විය යුතුය.

වායු සැපයුම් වේගය ඒකාකාර වේ: එනම්, වායු ප්රවාහයේ අසමානතාවය ± 20% තුළ පාලනය වේ.

වායු සැපයුම් පෘෂ්ඨයේ අඩු මළ ඉඩක් ඇත: හෙපා රාමුවේ තල ප්රදේශය අඩු කිරීම පමණක් නොව, වඩාත් වැදගත් ලෙස, අතිරික්ත රාමුව සරල කිරීම සඳහා මොඩියුලර් FFU භාවිතා කළ යුතුය.

වායු ප්‍රවාහය සිරස් සහ ඒක දිශානුගත බව සහතික කිරීම සඳහා, ෆිල්ටරයේ පීඩන පහත වැටීම තෝරා ගැනීම ද ඉතා වැදගත් වන අතර, පෙරහන තුළ ඇති පීඩන අලාභය පක්ෂග්‍රාහී විය නොහැකි බව අවශ්‍ය වේ.

(2) FFU පද්ධතිය සහ අක්ෂීය ප්‍රවාහ පංකා පද්ධතිය අතර සංසන්දනය

FFU යනු විදුලි පංකාවක් සහ හෙපා පෙරහන සහිත වායු සැපයුම් ඒකකයකි. FFU හි කේන්ද්‍රාපසාරී විදුලි පංකාවෙන් වාතය උරා ගන්නා අතර ගතික පීඩනය වායු නාලයේ ස්ථිතික පීඩනය බවට පරිවර්තනය කරයි. එය හෙපා පෙරහන මගින් ඒකාකාරව පුපුරවා හරිනු ලැබේ. සිවිලිම මත වායු සැපයුම් පීඩනය ඍණාත්මක පීඩනයකි. මේ ආකාරයෙන් පෙරණය ප්‍රතිස්ථාපනය කිරීමේදී දූවිලි පිරිසිදු කාමරයට කාන්දු නොවේ. අත්හදා බැලීම්වලින් පෙන්නුම් කර ඇත්තේ FFU පද්ධතිය වායු පිටවීමේ ඒකාකාරත්වය, වායු ප්‍රවාහ සමාන්තරකරණය සහ වාතාශ්‍රය කාර්යක්ෂමතා දර්ශකය අනුව අක්ෂීය ප්‍රවාහ පංකා පද්ධතියට වඩා උසස් බවයි. මෙයට හේතුව FFU පද්ධතියේ වායු ප්රවාහ සමාන්තරකරණය වඩා හොඳය. FFU පද්ධතියේ භාවිතය පිරිසිදු කාමරයේ වායු ප්රවාහ සංවිධානය වැඩිදියුණු කළ හැකිය.

(3) FFU හි ම ව්‍යුහයේ බලපෑම

FFU ප්රධාන වශයෙන් පංකා, පෙරහන්, වායු ප්රවාහ මාර්ගෝපදේශ සහ අනෙකුත් සංරචක වලින් සමන්විත වේ. හෙපා ෆිල්ටරය යනු සැලසුමට අවශ්‍ය පිරිසිදුකම සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා පිරිසිදු කාමරය සඳහා වඩාත්ම වැදගත් සහතිකයයි. ෆිල්ටරයේ ද්රව්ය ප්රවාහ ක්ෂේත්රයේ ඒකාකාරිත්වයට ද බලපානු ඇත. රළු පෙරහන ද්‍රව්‍යයක් හෝ ප්‍රවාහ තහඩුවක් පෙරහන් පිටවන ස්ථානයට එකතු කළ විට, පිටවන ප්‍රවාහ ක්ෂේත්‍රය පහසුවෙන් ඒකාකාර කළ හැකිය.

2. විවිධ පිරිසිදුකම සහිත වේග අතුරු මුහුණතේ බලපෑම

එම පිරිසිදු කාමරය තුළම සිරස් ඒක දිශානුගත ප්‍රවාහයක් සහිත වැඩ කරන ප්‍රදේශය සහ වැඩ නොකරන ප්‍රදේශය අතර හෙපා පෙට්ටියේ වායු වේගයේ වෙනස හේතුවෙන් අතුරු මුහුණතෙහි මිශ්‍ර සුළි ආචරණයක් ඇති වන අතර මෙම අතුරු මුහුණත කැළඹිලි සහිත වනු ඇත. වායු ප්රවාහ කලාපය. වායු කැළඹීම්වල තීව්රතාවය විශේෂයෙන් ශක්තිමත් වන අතර, අංශු උපකරණ යන්ත්රයේ මතුපිටට සම්ප්රේෂණය කර උපකරණ සහ වේෆර් අපවිත්ර විය හැක.

3. කාර්ය මණ්ඩලය සහ උපකරණ මත බලපෑම

පිරිසිදු කාමරය හිස් වූ විට, කාමරයේ වායු ප්රවාහ ලක්ෂණ සාමාන්යයෙන් සැලසුම් අවශ්යතා සපුරාලයි. උපකරණ පිරිසිදු කාමරයට ඇතුළු වූ පසු, මිනිසුන් චලනය වන අතර නිෂ්පාදන ප්‍රවාහනය කළ පසු, උපකරණ යන්ත්‍රයෙන් නෙරා ඇති තියුණු ලකුණු වැනි වායු ප්‍රවාහ සංවිධානයට අනිවාර්යයෙන්ම බාධා ඇති වේ. කෙළවරේ හෝ දාරවල, වායුව කැළඹිලි සහිත ගලා යන ප්‍රදේශයක් සෑදීමට අපසරනය වන අතර, එම ප්‍රදේශයේ ඇති තරලය එන වායුව මගින් පහසුවෙන් රැගෙන නොයන අතර එමඟින් දූෂණය වේ.

ඒ සමගම, අඛණ්ඩ ක්රියාකාරීත්වය හේතුවෙන් යාන්ත්රික උපකරණවල මතුපිට රත් වන අතර, උෂ්ණත්ව අනුක්රමය යන්ත්රය අසල ප්රතිප්රවාහ ප්රදේශයක් ඇති කරයි, එය ප්රතිගාමි ප්රදේශයේ අංශු සමුච්චය කිරීම වැඩි කරයි. ඒ සමගම, අධික උෂ්ණත්වය පහසුවෙන් අංශු පිටවීමට හේතු වේ. ද්විත්ව බලපෑම සමස්ත සිරස් ස්ථරය තීව්ර කරයි. ධාරාවේ පිරිසිදුකම පාලනය කිරීමේ දුෂ්කරතාවය. පිරිසිදු කාමරයක සිටින ක්‍රියාකරුවන්ගෙන් ලැබෙන දූවිලි මෙම ප්‍රත්‍යාවර්තන ප්‍රදේශ වල වේෆර් වලට පහසුවෙන් ඇලී සිටිය හැක.

4. ආපසු ගුවන් තට්ටුවේ බලපෑම

බිම හරහා ගමන් කරන ආපසු වාතයේ ප්රතිරෝධය වෙනස් වන විට, පීඩන වෙනස සිදුවනු ඇත, කුඩා ප්රතිරෝධයේ දිශාවට වාතය ගලා යාමට හේතු වන අතර, ඒකාකාර වායු ප්රවාහයක් නොලැබේ. වර්තමාන ජනප්රිය නිර්මාණ ක්රමය වන්නේ උස් තට්ටුවක් භාවිතා කිරීමයි. උස් බිම විවෘත කිරීමේ අනුපාතය 10% ක් වන විට, වායු ප්රවාහ ප්රවේගය ගෘහස්ථ වැඩ කරන උසෙහි ඒකාකාරව බෙදා හැරිය හැක. මීට අමතරව, බිම දූෂණය කිරීමේ මූලාශ්රය අඩු කිරීම සඳහා පිරිසිදු කිරීමේ කටයුතු සඳහා දැඩි අවධානය යොමු කළ යුතුය.

5. ප්‍රේරක සංසිද්ධිය

ඊනියා ප්‍රේරක සංසිද්ධිය යන්නෙන් අදහස් කරන්නේ ඒකාකාර ප්‍රවාහයට ප්‍රතිවිරුද්ධ දිශාවට වායු ප්‍රවාහය ජනනය කිරීම, කාමරයේ ජනනය වන දූවිලි හෝ යාබද දූෂිත ප්‍රදේශවල දූවිලි ඉහළ සුළං ඇති කිරීම, එමඟින් දූවිලි ෙව්ෆරය දූෂණය කිරීම යන සංසිද්ධියයි. විය හැකි ප්‍රේරිත සංසිද්ධිවලට පහත දෑ ඇතුළත් වේ:

(1) අන්ධ තහඩුව

බිත්තියේ ඇති සන්ධි හේතුවෙන් සිරස් අතට එක් දිශාවකට ගලා යන පිරිසිදු කාමරයක, කැළඹිලි සහිත ගලායාම සහ දේශීය පසුගාමී ප්‍රවාහයක් ඇති කරන විශාල අන්ධ පැනල් සාමාන්‍යයෙන් ඇත.

(2) ලාම්පු

පිරිසිදු කාමරයේ ආලෝක සවිකිරීම් වැඩි බලපෑමක් ඇති කරයි. ප්‍රතිදීප්ත පහනෙහි තාපය වාතය ගලායාමට හේතු වන බැවින් ප්‍රතිදීප්ත පහන කැළඹිලි සහිත ප්‍රදේශයක් බවට පත් නොවනු ඇත. සාමාන්‍යයෙන්, පිරිසිදු කාමරයේ ඇති ලාම්පු වායු ප්‍රවාහ සංවිධානයට ලාම්පු වල බලපෑම අඩු කිරීම සඳහා කඳුළු බිංදු හැඩයකින් නිර්මාණය කර ඇත.

(3) බිත්ති අතර හිඩැස්

විවිධ පිරිසිදුකමේ අවශ්‍යතා සහිත කොටස් බිත්ති හෝ සිවිලිම් අතර හිඩැස් ඇති විට, අඩු පිරිසිදුකම අවශ්‍යතා ඇති ප්‍රදේශවලින් දූවිලි ඉහළ පිරිසිදුකම අවශ්‍යතා සහිත යාබද ප්‍රදේශවලට මාරු කළ හැකිය.

(4) යාන්ත්‍රික උපකරණ සහ බිම හෝ බිත්තිය අතර දුර

යාන්ත්රික උපකරණ සහ බිම හෝ බිත්තිය අතර පරතරය කුඩා නම්, ප්රතිබිම්බ කැළඹීම් සිදුවනු ඇත. එමනිසා, උපකරණ සහ බිත්තිය අතර පරතරයක් ඉතිරි කර බිම සමඟ සෘජු සම්බන්ධතා වළක්වා ගැනීම සඳහා මැෂින් වේදිකාව ඔසවන්න.