පිරිසිදු කාමරයක වායු ප්‍රවාහ සංවිධානයට බලපාන සාධක මොනවාද?

IC නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ චිප අස්වැන්න අනුපාතය චිපයේ තැන්පත් කර ඇති වායු අංශු ප්‍රමාණය හා සංඛ්‍යාවට සමීපව සම්බන්ධ වේ. හොඳ වායු ප්‍රවාහ සංවිධානයකට දූවිලි ප්‍රභවයෙන් ජනනය වන අංශු පිරිසිදු කාමරයෙන් ඉවතට ගෙන ගොස් පිරිසිදු කාමරයේ පිරිසිදුකම සහතික කළ හැකිය, එනම්, පිරිසිදු කාමරයේ වායු ප්‍රවාහ සංවිධානය IC නිෂ්පාදනයේ අස්වැන්න අනුපාතයේ වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. පිරිසිදු කාමරයේ වායු ප්‍රවාහ සංවිධානය සැලසුම් කිරීම පහත සඳහන් අරමුණු සාක්ෂාත් කර ගැනීම අවශ්‍ය වේ: හානිකර අංශු රඳවා තබා ගැනීම වළක්වා ගැනීම සඳහා ප්‍රවාහ ක්ෂේත්‍රයේ සුළි ධාරාව අඩු කිරීම හෝ ඉවත් කිරීම; හරස් දූෂණය වැළැක්වීම සඳහා සුදුසු ධනාත්මක පීඩන අනුක්‍රමයක් පවත්වා ගැනීම.

වායු ප්‍රවාහ බලය

පිරිසිදු කාමර මූලධර්මයට අනුව, අංශු මත ක්‍රියා කරන බලවේග අතර ස්කන්ධ බලය, අණුක බලය, අංශු අතර ආකර්ෂණය, වායු ප්‍රවාහ බලය යනාදිය ඇතුළත් වේ.

වායු ප්‍රවාහ බලය: අංශු රැගෙන යාම සඳහා නිශ්චිත ප්‍රවාහ අනුපාතයක් සහිත බෙදා හැරීම, ආපසු වායු ප්‍රවාහය, තාප සංවහන වායු ප්‍රවාහය, කෘතිම ඇවිස්සීම සහ අනෙකුත් වායු ප්‍රවාහයන් නිසා ඇතිවන වායු ප්‍රවාහයේ බලය අදහස් කරයි. පිරිසිදු කාමර පරිසරයේ තාක්ෂණික පාලනය සඳහා, වායු ප්‍රවාහ බලය වඩාත් වැදගත් සාධකය වේ.

අත්හදා බැලීම්වලින් පෙන්වා දී ඇත්තේ වායු ප්‍රවාහ චලනයේදී අංශු වායු ප්‍රවාහ චලනය අනුගමනය කරන්නේ එකම වේගයකින් බවයි. වාතයේ ඇති අංශුවල තත්ත්වය තීරණය වන්නේ වායු ප්‍රවාහ ව්‍යාප්තිය මගිනි. ගෘහස්ථ අංශු වලට බලපාන වායු ප්‍රවාහවලට ප්‍රධාන වශයෙන් ඇතුළත් වන්නේ: වායු සැපයුම් වායු ප්‍රවාහය (ප්‍රාථමික වායු ප්‍රවාහය සහ ද්විතියික වායු ප්‍රවාහය ඇතුළුව), මිනිසුන් ඇවිදීම නිසා ඇතිවන වායු ප්‍රවාහය සහ තාප සංවහන වායු ප්‍රවාහය සහ ක්‍රියාවලි ක්‍රියාකාරිත්වය සහ කාර්මික උපකරණ නිසා ඇතිවන වායු ප්‍රවාහය. විවිධ වායු සැපයුම් ක්‍රම, වේග අතුරුමුහුණත්, ක්‍රියාකරුවන් සහ කාර්මික උපකරණ සහ පිරිසිදු කාමරවල ඇති කරන ලද සංසිද්ධි සියල්ලම පිරිසිදුකමේ මට්ටමට බලපාන සාධක වේ.

වායු ප්‍රවාහ සංවිධානයට බලපාන සාධක

1. වායු සැපයුම් ක්‍රමයේ බලපෑම

(1). වායු සැපයුම් වේගය

ඒකාකාර වායු ප්‍රවාහය සහතික කිරීම සඳහා, ඒක දිශානුගත පිරිසිදු කාමරයක වායු සැපයුම් වේගය ඒකාකාරී විය යුතුය; වායු සැපයුම් පෘෂ්ඨයේ මළ කලාපය කුඩා විය යුතුය; සහ ULPA හි පීඩන පහත වැටීම ද ඒකාකාරී විය යුතුය.

ඒකාකාර වායු සැපයුම් වේගය: එනම්, වායු ප්‍රවාහයේ අසමානතාවය ±20%ක් ඇතුළත පාලනය වේ.

වායු සැපයුම් පෘෂ්ඨයේ අඩු මළ කලාපයක්: ULPA රාමුවේ තල ප්‍රදේශය අඩු කිරීම පමණක් නොව, වඩාත් වැදගත් ලෙස, අතිරික්ත රාමුව සරල කිරීම සඳහා මොඩියුලර් FFU භාවිතා කළ යුතුය.

සිරස් ඒක දිශානුගත වායු ප්‍රවාහය සහතික කිරීම සඳහා, පෙරහනෙහි පීඩන පහත වැටීම තෝරා ගැනීම ද ඉතා වැදගත් වන අතර, පෙරහනෙහි පීඩන අලාභය අපගමනය විය නොහැකි බව අවශ්‍ය වේ.

(2). FFU පද්ධතිය සහ අක්ෂීය ප්‍රවාහ විදුලි පංකා පද්ධතිය අතර සංසන්දනය

FFU යනු විදුලි පංකාවක් සහ පෙරහනක් (ULPA) සහිත වායු සැපයුම් ඒකකයකි. FFU හි කේන්ද්‍රාපසාරී විදුලි පංකාව මගින් වාතය උරා ගැනීමෙන් පසු, ගතික පීඩනය වායු නාලයේ ස්ථිතික පීඩනය බවට පරිවර්තනය කර ULPA මගින් ඒකාකාරව පිටතට විසි කරනු ලැබේ. සිවිලිම මත වායු සැපයුම් පීඩනය සෘණ පීඩනයක් වන අතර, එම නිසා පෙරහන ප්‍රතිස්ථාපනය කරන විට කිසිදු දූවිලි පිරිසිදු කාමරයට කාන්දු නොවේ. වායු පිටවීමේ ඒකාකාරිත්වය, වායු ප්‍රවාහ සමාන්තරකරණය සහ වාතාශ්‍රය කාර්යක්ෂමතා දර්ශකය අනුව FFU පද්ධතිය අක්ෂීය ප්‍රවාහ විදුලි පංකා පද්ධතියට වඩා උසස් බව අත්හදා බැලීම්වලින් පෙන්වා දී ඇත. මෙයට හේතුව FFU පද්ධතියේ වායු ප්‍රවාහ සමාන්තරකරණය වඩා හොඳ වීමයි. FFU පද්ධතිය භාවිතා කිරීමෙන් පිරිසිදු කාමරයේ වායු ප්‍රවාහය වඩා හොඳින් සංවිධානය කළ හැකිය.

(3) FFU හි ව්‍යුහයේ බලපෑම

FFU ප්‍රධාන වශයෙන් විදුලි පංකා, පෙරහන්, වායු ප්‍රවාහ මාර්ගෝපදේශ උපාංග සහ අනෙකුත් සංරචක වලින් සමන්විත වේ. පිරිසිදු කාමරයට අවශ්‍ය පිරිසිදුකම නිර්මාණය කළ හැකිද යන්න සඳහා අතිශය ඉහළ කාර්යක්ෂමතා පෙරහන ULPA වැදගත්ම සහතිකයයි. පෙරහනෙහි ද්‍රව්‍ය ප්‍රවාහ ක්ෂේත්‍රයේ ඒකාකාරිත්වයට ද බලපානු ඇත. රළු පෙරහන් ද්‍රව්‍යයක් හෝ ලැමිනර් ප්‍රවාහ තහඩුවක් පෙරහන් පිටවන ස්ථානයට එකතු කළ විට, පිටවන ප්‍රවාහ ක්ෂේත්‍රය පහසුවෙන් ඒකාකාර කළ හැකිය.

2. පිරිසිදුකමේ විවිධ වේග අතුරුමුහුණත් වල බලපෑම

ULPA පිටවන ස්ථානයේ වායු වේගයේ වෙනස හේතුවෙන්, සිරස් ඒක දිශානුගත ප්‍රවාහයේ වැඩ කරන ප්‍රදේශය සහ වැඩ නොකරන ප්‍රදේශය අතර එකම පිරිසිදු කාමරය තුළ, අතුරු මුහුණතේ මිශ්‍ර සුළි ආචරණයක් ජනනය වන අතර, මෙම අතුරුමුහුණත විශේෂයෙන් ඉහළ වායු කැළඹිලි තීව්‍රතාවයකින් යුත් කැළඹිලි සහිත වායු ප්‍රවාහ කලාපයක් බවට පත්වේ. අංශු උපකරණ මතුපිටට සම්ප්‍රේෂණය වී උපකරණ සහ වේෆර් දූෂණය කළ හැකිය.

3. කාර්ය මණ්ඩලයේ සහ උපකරණවල බලපෑම

පිරිසිදු කාමරය හිස් වූ විට, කාමරයේ වායු ප්‍රවාහ ලක්ෂණ සාමාන්‍යයෙන් සැලසුම් අවශ්‍යතා සපුරාලයි. උපකරණ පිරිසිදු කාමරයට ඇතුළු වූ පසු, පිරිස් චලනය වන අතර නිෂ්පාදන සම්ප්‍රේෂණය වන විට, වායු ප්‍රවාහ සංවිධානයට අනිවාර්යයෙන්ම බාධා ඇති වේ. නිදසුනක් ලෙස, උපකරණවල නෙරා ඇති කොන් හෝ දාරවල, වායුව කැළඹිලි සහිත කලාපයක් සෑදීමට හරවා යවනු ලබන අතර, කලාපයේ තරලය වායුව මගින් පහසුවෙන් රැගෙන නොයන අතර එමඟින් දූෂණය ඇති වේ. ඒ සමඟම, අඛණ්ඩ ක්‍රියාකාරිත්වය හේතුවෙන් උපකරණයේ මතුපිට රත් වන අතර, උෂ්ණත්ව අනුක්‍රමය යන්ත්‍රය අසල ප්‍රතිප්‍රවාහ කලාපයක් ඇති කරයි, එමඟින් ප්‍රතිප්‍රවාහ කලාපයේ අංශු සමුච්චය වීම වැඩි වේ. ඒ සමඟම, ඉහළ උෂ්ණත්වය පහසුවෙන් අංශු ගැලවී යාමට හේතු වේ. ද්විත්ව බලපෑම සමස්ත සිරස් ලැමිනර් පිරිසිදුකම පාලනය කිරීමේ දුෂ්කරතාවය තවත් උග්‍ර කරයි. පිරිසිදු කාමරයේ ක්‍රියාකරුවන්ගෙන් ලැබෙන දූවිලි මෙම ප්‍රතිප්‍රවාහ කලාපවල වේෆර් වලට ඇලී සිටීම ඉතා පහසුය.

4. ආපසු වායු තට්ටුවේ බලපෑම

බිම හරහා ගමන් කරන ආපසු වාතයේ ප්‍රතිරෝධය වෙනස් වූ විට, පීඩන වෙනසක් ජනනය වන අතර එමඟින් වාතය අඩු ප්‍රතිරෝධයක් ඇති දිශාවට ගලා යන අතර ඒකාකාර වායු ප්‍රවාහයක් නොලැබේ. වර්තමාන ජනප්‍රිය සැලසුම් ක්‍රමය වන්නේ උස් බිම් භාවිතා කිරීමයි. උස් බිම් විවෘත කිරීමේ අනුපාතය 10% ක් වන විට, කාමරයේ වැඩ කරන උසෙහි වායු ප්‍රවාහ ප්‍රවේගය ඒකාකාරව බෙදා හැරිය හැකිය. ඊට අමතරව, බිමෙහි දූෂණ ප්‍රභවය අඩු කිරීම සඳහා පිරිසිදු කිරීමේ කටයුතු කෙරෙහි දැඩි අවධානයක් යොමු කළ යුතුය.

5. ප්‍රේරක සංසිද්ධිය

ඊනියා ප්‍රේරණ සංසිද්ධිය යන්නෙන් අදහස් කරන්නේ ඒකාකාර ප්‍රවාහයේ ප්‍රතිවිරුද්ධ දිශාවට වායු ප්‍රවාහය ජනනය වන අතර කාමරයේ ජනනය වන දූවිලි හෝ යාබද දූෂිත ප්‍රදේශයේ දූවිලි ඉහළ සුළං පැත්තට ප්‍රේරණය වන අතර එමඟින් දූවිලි චිපය දූෂණය කළ හැකිය. පහත දැක්වෙන්නේ හැකි ප්‍රේරණ සංසිද්ධි වේ:

(1). අන්ධ තහඩුව

සිරස් ඒක දිශානුගත ප්‍රවාහයක් සහිත පිරිසිදු කාමරයක, බිත්තියේ ඇති සන්ධි හේතුවෙන්, සාමාන්‍යයෙන් විශාල අන්ධ තහඩු ඇති අතර එමඟින් දේශීය ආපසු ප්‍රවාහයේ කැළඹීමක් ඇති වේ.

(2). ලාම්පු

පිරිසිදු කාමරයේ ආලෝකකරණ සවිකිරීම් වැඩි බලපෑමක් ඇති කරනු ඇත. ප්‍රතිදීප්ත ලාම්පු වල තාපය වායු ප්‍රවාහය ඉහළ යාමට හේතු වන බැවින්, ප්‍රතිදීප්ත ලාම්පු යටතේ කැළඹිලි සහිත ප්‍රදේශයක් නොමැත. සාමාන්‍යයෙන්, පිරිසිදු කාමරයේ ලාම්පු කඳුළු බිංදු හැඩයකින් නිර්මාණය කර ඇත්තේ වායු ප්‍රවාහ සංවිධානයට ලාම්පු වල බලපෑම අඩු කිරීම සඳහා ය.

(3.) බිත්ති අතර හිඩැස්

විවිධ පිරිසිදුතා මට්ටම් සහිත කොටස් අතර හෝ කොටස් සහ සිවිලිම් අතර හිඩැස් ඇති විට, අඩු පිරිසිදුතා අවශ්‍යතා ඇති ප්‍රදේශයෙන් දූවිලි ඉහළ පිරිසිදුතා අවශ්‍යතා සහිත යාබද ප්‍රදේශයට මාරු කළ හැකිය.

(4). යන්ත්‍රය සහ බිම හෝ බිත්තිය අතර දුර

යන්ත්‍රය සහ බිම හෝ බිත්තිය අතර පරතරය ඉතා කුඩා නම්, එය ප්‍රතිබද්ධ කැළඹිලි ඇති කරයි. එමනිසා, උපකරණ සහ බිත්තිය අතර පරතරයක් තබා යන්ත්‍රය කෙලින්ම බිම ස්පර්ශ වීම වළක්වා ගැනීම සඳහා යන්ත්‍රය ඉහළට ඔසවන්න.