පිරිසිදු කාමරයේ උෂ්ණත්වය සහ වායු පීඩන පාලනය

විශේෂයෙන් මීදුම සහිත කාලගුණය වැඩිවීමත් සමඟ පාරිසරික ආරක්ෂාව කෙරෙහි වැඩි අවධානයක් යොමු කෙරේ. පිරිසිදු කාමර ඉංජිනේරු විද්යාව පාරිසරික ආරක්ෂණ පියවරයන්ගෙන් එකකි. පරිසර ආරක්ෂණයේ හොඳ කාර්යයක් කිරීමට පිරිසිදු කාමර ඉංජිනේරු විද්යාව භාවිතා කරන්නේ කෙසේද? පිරිසිදු කාමර ඉංජිනේරු විද්‍යාවේ පාලනය ගැන කතා කරමු.

පිරිසිදු කාමරයේ උෂ්ණත්වය සහ ආර්ද්රතාවය පාලනය කිරීම

පිරිසිදු අවකාශයන්හි උෂ්ණත්වය සහ ආර්ද්රතාවය ප්රධාන වශයෙන් ක්රියාවලි අවශ්යතා මත පදනම්ව තීරණය කරනු ලැබේ, නමුත් ක්රියාවලිය අවශ්යතා සපුරාලන විට, මානව සුවපහසුව සැලකිල්ලට ගත යුතුය. වාතය පිරිසිදු කිරීමේ අවශ්‍යතා වැඩිදියුණු කිරීමත් සමඟ, ක්‍රියාවලියේදී උෂ්ණත්වය සහ ආර්ද්‍රතාවය සඳහා දැඩි අවශ්‍යතා ඇතිවීමේ ප්‍රවණතාවක් පවතී.

සාමාන්‍ය මූලධර්මයක් ලෙස, සැකසීමේ වැඩිවන නිරවද්‍යතාවය හේතුවෙන්, උෂ්ණත්ව උච්චාවචන පරාසය සඳහා වන අවශ්‍යතා කුඩා හා කුඩා වෙමින් පවතී. නිදසුනක් ලෙස, මහා පරිමාණ ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදනයේ ලිතෝග්‍රැෆි සහ නිරාවරණ ක්‍රියාවලියේදී, ආවරණ ද්‍රව්‍ය ලෙස භාවිතා කරන වීදුරු සහ සිලිකන් වේෆර් අතර තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකයේ වෙනස වඩ වඩාත් කුඩා වෙමින් පවතී.

100 μm විෂ්කම්භයක් සහිත සිලිකන් වේෆරයක් උෂ්ණත්වය අංශක 1 කින් ඉහළ යන විට 0.24 μm රේඛීය ප්‍රසාරණයක් ඇති කරයි. එබැවින්, ± 0.1 ℃ නියත උෂ්ණත්වයක් අවශ්ය වන අතර, දහඩිය දැමීමෙන් පසුව, නිෂ්පාදිතය දූෂිත වනු ඇත, විශේෂයෙන් සෝඩියම් වලට බිය වන අර්ධ සන්නායක වැඩමුළු වලදී ආර්ද්රතා අගය සාමාන්යයෙන් අඩු වේ. මෙම වර්ගයේ වැඩමුළුව 25℃ නොඉක්මවිය යුතුය.

අධික ආර්ද්රතාවය තවත් ගැටළු ඇති කරයි. සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවය 55% ඉක්මවන විට, සිසිලන ජල නල බිත්තිය මත ඝනීභවනය වනු ඇත. එය නිරවද්‍ය උපාංගවල හෝ පරිපථවල සිදුවුවහොත් එය විවිධ අනතුරුවලට හේතු විය හැක. සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවය 50% ක් වන විට, එය මලකඩ කිරීමට පහසුය. මීට අමතරව, ආර්ද්‍රතාවය අධික වූ විට, සිලිකන් වේෆරයේ මතුපිටට ඇලී ඇති දූවිලි වාතයේ ඇති ජල අණු හරහා රසායනිකව මතුපිටට අවශෝෂණය වන අතර එය ඉවත් කිරීමට අපහසුය.

සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවය වැඩි වන අතර, ඇලවීම ඉවත් කිරීමට අපහසු වේ. කෙසේ වෙතත්, සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවය 30% ට වඩා අඩු වූ විට, විද්‍යුත් ස්ථිතික බලයේ ක්‍රියාකාරිත්වය හේතුවෙන් අංශු ද මතුපිටින් පහසුවෙන් අවශෝෂණය වන අතර අර්ධ සන්නායක උපාංග විශාල ප්‍රමාණයක් බිඳවැටීමට ලක් වේ. සිලිකන් වේෆර් නිෂ්පාදනය සඳහා ප්රශස්ත උෂ්ණත්ව පරාසය 35-45% කි.

වායු පීඩනයපාලනයපිරිසිදු කාමරයේ 

බොහෝ පිරිසිදු අවකාශයන් සඳහා, බාහිර දූෂණය ආක්‍රමණය කිරීම වැළැක්වීම සඳහා, බාහිර පීඩනයට (ස්ථිතික පීඩනය) වඩා අභ්‍යන්තර පීඩනය (ස්ථිතික පීඩනය) පවත්වා ගැනීම අවශ්‍ය වේ. පීඩන වෙනස නඩත්තු කිරීම සාමාන්යයෙන් පහත සඳහන් මූලධර්මවලට අනුකූල විය යුතුය:

1. පිරිසිදු අවකාශයන්හි පීඩනය පිරිසිදු නොවන ස්ථානවලට වඩා වැඩි විය යුතුය.

2. ඉහළ පිරිසිදුකම සහිත අවකාශයන්හි පීඩනය අඩු පිරිසිදු මට්ටම් සහිත යාබද අවකාශයන්ට වඩා වැඩි විය යුතුය.

3. පිරිසිදු කාමර අතර දොරවල් ඉහළ පිරිසිදු මට්ටම් සහිත කාමර දෙසට විවෘත කළ යුතුය.

පීඩන වෙනස නඩත්තු කිරීම නැවුම් වාතය ප්‍රමාණය මත රඳා පවතින අතර, මෙම පීඩන වෙනස යටතේ ඇති පරතරයෙන් වාතය කාන්දු වීම සඳහා වන්දි ගෙවීමට හැකි විය යුතුය. එබැවින් පීඩන වෙනසෙහි භෞතික අර්ථය වන්නේ පිරිසිදු කාමරයේ විවිධ හිඩැස් හරහා කාන්දු වීම (හෝ විනිවිද යාම) වායු ප්රවාහයේ ප්රතිරෝධයයි.