පිරිසිදු කාමරයේ උෂ්ණත්වය සහ වායු පීඩන පාලනය

පාරිසරික ආරක්ෂාව වැඩි වැඩියෙන් අවධානය යොමු කරනු ලැබේ, විශේෂයෙන්ම වැසි සහිත කාලගුණය වැඩිවීමත් සමඟ. පිරිසිදු කාමර ඉංජිනේරු විද්යාව පාරිසරික ආරක්ෂණ පියවරයන්ගෙන් එකකි. පාරිසරික ආරක්ෂණයේ හොඳ රැකියාවක් කිරීමට පිරිසිදු කාමර ඉංජිනේරු විද්යාව භාවිතා කරන්නේ කෙසේද? පිරිසිදු කාමර ඉංජිනේරු විද්යාව පිළිබඳ පාලනය ගැන කතා කරමු.

පිරිසිදු කාමරයේ උෂ්ණත්වය හා ආර්ද්රතා පාලනය

පිරිසිදු අවකාශයේ උෂ්ණත්වය හා ආර්ද්රතාවය ප්රධාන වශයෙන් තීරණය වන්නේ ක්රියාවලි අවශ්යතා මත පදනම්ව, නමුත් රැස්වීම් ක්රියාවලි අවශ්යතා මත පදනම්ව, මානව සැනසීම සැලකිල්ලට ගත යුතුවෙමිනි. වායු පිරිසිදුකම අවශ්යතා වැඩිදියුණු කිරීමත් සමඟ, ක්රියාවලියේදී උෂ්ණත්වය හා ආර්ද්රතාවය සඳහා දැඩි අවශ්යතා පිළිබඳ ප්රවණතාවක් ඇත.

සාමාන්ය මූලධර්මයක් ලෙස, සැකසීමේ වැඩිවන නිරවද්යතාවය හේතුවෙන්, උෂ්ණත්ව උච්චාවකකරණ පරාසය සඳහා වන අවශ්යතා කුඩා හා කුඩා බවට පත්වේ. නිදසුනක් වශයෙන්, මහා පරිමාණ ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදනයේ ලිඛිත හා නිරාවරණ ක්රියාවලිය තුළ, වෙස්මුහුණු ද්රව්ය ලෙස භාවිතා කරන වීදුරු සහ සිලිකන් වෝෆර් අතර තාප ව්යාප්තියේ වෙනස වැඩි වැඩියෙන් කුඩා වෙමින් පවතී.

100 μ m ට විෂ්කම්භයක් සහිත සිලිකන් වේෆරයක් 0.24 μ M හි රේඛීය ව්යාප්තියක් 0.24 μ M මට්ටමේ සිට උපාධිය 1 කින් ඉහළ යයි. එමනිසා, ± 0.1 formal හි නියත උෂ්ණත්වය අවශ්ය වන අතර, ආර්ද්රතා අගය සාමාන්යයෙන් අඩු වන අතර, දහඩිය දැමීමෙන් පසු, විශේෂයෙන් සූඩී යාම් වලට බිය වන අර්ධ සන්නායක වැඩමුළු වලදී. මෙම වර්ගයේ වැඩමුළුව 25 ℃ නොඉක්මවිය යුතුය.

අධික ආර්ද්රතාවය වැඩි ගැටළු ඇති කරයි. සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවය 55% ඉක්මවන විට, ens නීභවනය සිසිලන ජල නල බිත්තිය මත පදනම් වේ. එය නිරවද්ය උපාංගවල හෝ පරිපථවල සිදුවුවහොත්, එය විවිධ අනතුරු ඇති කළ හැකිය. සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවය 50% ක් වූ විට, මලකඩ මලකන්න. ඊට අමතරව, ආර්ද්රතාවය වැඩියි, සිලිකන් වේෆරයේ මතුපිටට ඇලී සිටීම වාතයේ ජල අණු හරහා පෘෂ් on ය මත මතු වන දූවිලි වර්ගයේ ජල අණු හරහා මතුපිටින් සවි කර ඇත, එය ඉවත් කිරීමට අපහසුය.

සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවය වැඩි වන තරමට, මැලියම් ඉවත් කිරීම දුෂ්කර ය. කෙසේ වෙතත්, සාපේක්ෂ ආර්ද්රතාවය 30% ට වඩා අඩු වූ විට, විද්යුත් ස්ථිතික බලකායේ ක්රියාකාරිත්වය හේතුවෙන් අංශු මතුපිටින් පහසුවෙන් asonot කර ඇති අතර අර්ධ සන්නායක උපාංග විශාල ප්රමාණයක් බිඳ වැටීමට ඉඩ ඇත. සිලිකන් වේෆර් නිෂ්පාදනය සඳහා ප්රශස්ත උෂ්ණත්ව පරාසය 35-45% කි.

වායු පීඩනයපාලනයපිරිසිදු කාමරයේ 

බොහෝ පිරිසිදු අවකාශයන් සඳහා, බාහිර දූෂණය වැළැක්වීම සඳහා ආක්රමණික වීම වැළැක්වීම සඳහා, බාහිර පීඩනයන්ට වඩා අභ්යන්තර පීඩනය (ස්ථිතික පීඩනය) පවත්වා ගැනීම අවශ්ය වේ (ස්ථිතික පීඩනය). පීඩන වෙනස නඩත්තු කිරීම සාමාන්යයෙන් පහත සඳහන් මූලධර්මවලට අනුකූල විය යුතුය:

1. පිරිසිදු අවකාශවල පීඩනය පිරිසිදු නොවන අවකාශයන්හි ඊට වඩා වැඩි විය යුතුය.

2. ඉහළ පිරිසිදුකම මට්ටම් සහිත අවකාශයේ පීඩනය ඉහළ පිරිසිදුකම මට්ටමින් යාබද අවකාශයේ ඊට වඩා වැඩි විය යුතුය.

3. ඉහළ පිරිසිදුකම මට්ටම් සහිත කාමර සඳහා පිරිසිදු කාමර අතර දොරවල් විවෘත කළ යුතුය.

පීඩන වෙනස පවත්වා ගැනීම රඳා පවතින්නේ නැවුම් වාතය ප්රමාණය මත වන අතර එමඟින් මෙම පීඩන වෙනස යටතේ ඇති පරතරයෙන් ගුවන් කාන්දු වීම සඳහා වන්දි ගෙවීමට හැකි විය යුතුය. එබැවින් පීඩන වෙනසෙහි භෞතික අර්ථය වන්නේ පිරිසිදු කාමරයේ විවිධ හිඩැස් හරහා කාන්දු වීමේ ප්රතිරෝධය (හෝ ආක්රමණය) වාතය ගලා යන ප්රතිරෝධයයි.