පිරිසිදු කාමරයක උෂ්ණත්වය සහ වායු පීඩන පාලනය

විශේෂයෙන් මීදුම සහිත කාලගුණය වැඩිවීමත් සමඟ පාරිසරික ආරක්ෂාව කෙරෙහි වැඩි වැඩියෙන් අවධානය යොමු කෙරේ. පිරිසිදු කාමර ඉංජිනේරු විද්‍යාව පාරිසරික ආරක්ෂණ පියවරයන්ගෙන් එකකි. පාරිසරික ආරක්ෂාව සඳහා හොඳ කාර්යයක් කිරීමට පිරිසිදු කාමර ඉංජිනේරු විද්‍යාව භාවිතා කරන්නේ කෙසේද? පිරිසිදු කාමර ඉංජිනේරු විද්‍යාවේ පාලනය ගැන කතා කරමු.

පිරිසිදු කාමරයක උෂ්ණත්වය සහ ආර්ද්‍රතාවය පාලනය කිරීම

පිරිසිදු අවකාශයන්හි උෂ්ණත්වය සහ ආර්ද්‍රතාවය ප්‍රධාන වශයෙන් තීරණය වන්නේ ක්‍රියාවලි අවශ්‍යතා මත පදනම්වය, නමුත් ක්‍රියාවලි අවශ්‍යතා සපුරාලීමේදී මිනිස් සුවපහසුව සැලකිල්ලට ගත යුතුය. වායු පිරිසිදු කිරීමේ අවශ්‍යතා වැඩිදියුණු වීමත් සමඟ, ක්‍රියාවලියේදී උෂ්ණත්වය සහ ආර්ද්‍රතාවය සඳහා දැඩි අවශ්‍යතා ඇතිවීමේ ප්‍රවණතාවක් පවතී.

සාමාන්‍ය මූලධර්මයක් ලෙස, සැකසීමේ වැඩිවන නිරවද්‍යතාවය හේතුවෙන්, උෂ්ණත්ව උච්චාවචන පරාසය සඳහා අවශ්‍යතා කුඩා වෙමින් පවතී. උදාහරණයක් ලෙස, මහා පරිමාණ ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදනයේ ලිතෝග්‍රැෆි සහ නිරාවරණ ක්‍රියාවලියේදී, ආවරණ ද්‍රව්‍ය ලෙස භාවිතා කරන වීදුරු සහ සිලිකන් වේෆර් අතර තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකයේ වෙනස වඩ වඩාත් කුඩා වෙමින් පවතී.

100 μm විෂ්කම්භයක් සහිත සිලිකන් වේෆරයක් උෂ්ණත්වය අංශක 1 කින් ඉහළ යන විට 0.24 μm රේඛීය ප්‍රසාරණයකට හේතු වේ. එබැවින්, ± 0.1 ℃ ක නියත උෂ්ණත්වයක් අවශ්‍ය වන අතර, ආර්ද්‍රතා අගය සාමාන්‍යයෙන් අඩු වන්නේ දහඩිය දැමීමෙන් පසු නිෂ්පාදිතය දූෂිත වන බැවිනි, විශේෂයෙන් සෝඩියම් වලට බිය වන අර්ධ සන්නායක වැඩමුළු වලදී. මෙම වර්ගයේ වැඩමුළු 25℃ නොඉක්මවිය යුතුය.

අධික ආර්ද්‍රතාවය වැඩි ගැටළු ඇති කරයි. සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවය 55% ඉක්මවන විට, සිසිලන ජල නල බිත්තිය මත ඝනීභවනය ඇති වේ. එය නිරවද්‍ය උපාංග හෝ පරිපථවල සිදුවුවහොත්, එය විවිධ අනතුරු ඇති කළ හැකිය. සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවය 50% ක් වන විට, එය මලකඩ කෑමට පහසුය. ඊට අමතරව, ආර්ද්‍රතාවය අධික වූ විට, සිලිකන් වේෆරයේ මතුපිටට ඇලී ඇති දූවිලි වාතයේ ඇති ජල අණු හරහා මතුපිටට රසායනිකව අවශෝෂණය වන අතර එය ඉවත් කිරීමට අපහසු වේ.

සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවය වැඩි වන තරමට, ඇලවීම ඉවත් කිරීම දුෂ්කර වේ. කෙසේ වෙතත්, සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවය 30% ට වඩා අඩු වූ විට, විද්‍යුත් ස්ථිතික බලයේ ක්‍රියාකාරිත්වය හේතුවෙන් අංශු මතුපිටට පහසුවෙන් අවශෝෂණය වන අතර, අර්ධ සන්නායක උපාංග විශාල සංඛ්‍යාවක් බිඳවැටීමට ගොදුරු වේ. සිලිකන් වේෆර් නිෂ්පාදනය සඳහා ප්‍රශස්ත උෂ්ණත්ව පරාසය 35-45% කි.

වායු පීඩනයපාලනයපිරිසිදු කාමරයක 

බොහෝ පිරිසිදු අවකාශයන් සඳහා, බාහිර දූෂණය ආක්‍රමණය වීම වැළැක්වීම සඳහා, අභ්‍යන්තර පීඩනය (ස්ථිතික පීඩනය) බාහිර පීඩනයට (ස්ථිතික පීඩනය) වඩා ඉහළින් පවත්වා ගැනීම අවශ්‍ය වේ. පීඩන වෙනස පවත්වා ගැනීම සාමාන්‍යයෙන් පහත මූලධර්මවලට අනුකූල විය යුතුය:

1. පිරිසිදු අවකාශයන්හි පීඩනය පිරිසිදු නොවන අවකාශයන්ට වඩා වැඩි විය යුතුය.

2. ඉහළ පිරිසිදුතා මට්ටම් ඇති අවකාශයන්හි පීඩනය, අඩු පිරිසිදුතා මට්ටම් ඇති යාබද අවකාශයන්ට වඩා වැඩි විය යුතුය.

3. පිරිසිදු කාමර අතර දොරවල් ඉහළ පිරිසිදුතා මට්ටම් සහිත කාමර දෙසට විවෘත කළ යුතුය.

පීඩන වෙනස පවත්වා ගැනීම රඳා පවතින්නේ නැවුම් වාතයේ ප්‍රමාණය මත වන අතර, එමඟින් මෙම පීඩන වෙනස යටතේ පරතරයෙන් වාතය කාන්දු වීම සඳහා වන්දි ලබා දිය යුතුය. එබැවින් පීඩන වෙනසෙහි භෞතික අර්ථය වන්නේ පිරිසිදු කාමරයේ විවිධ හිඩැස් හරහා කාන්දු වීමේ (හෝ කාන්දු වීමේ) වායු ප්‍රවාහයේ ප්‍රතිරෝධයයි.